GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
作者:标准资料网 时间:2024-05-20 04:46:55 浏览:8679
来源:标准资料网
基本信息
| 标准名称： | 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范 |
| 英文名称： | Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for dissolved wafer process |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术 >>
微电路 >>
微电路综合 |
| ICS分类： |
电子学 >>
集成电路、微电子学
|
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2012-05-11 |
| 实施日期： | 2012-12-01 |
| 首发日期： | 2012-05-11 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 提出单位： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： | 中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 起草人： | 崔波、罗蓉、刘伟、张大成、熊斌、陈海蓉 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2012-12-01 |
| 页数： | 16页 |
适用范围
本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。
本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
前言
没有内容
目录
前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 工艺流程 2
4.1 体硅溶片工艺流程 2
4.2 硅片加工工艺流程 2
4.3 玻璃片加工工艺流程 3
4.4 硅-玻璃键合片工艺流程 4
5 工艺加工能力 4
6 工艺保障条件要求 4
6.1 人员要求 4
6.2 环境要求 4
6.3 设备要求 5
7 原材料要求 6
8 安全操作要求 6
8.1 用电安全 6
8.2 化学试剂 6
8.3 排废 6
9 工艺检验 6
9.1 总则 6
9.2 关键工序检验 7
9.3 最终检验 8
附录A (资料性附录) 体硅溶片关键工序检验方法 10
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB50073—2001 洁净厂房设计规范
GB/T19022—2003 测量管理体系 测量过程和测量设备的要求
GB/T26111—2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
所属分类： 电子元器件与信息技术 微电路 微电路综合 电子学 集成电路 微电子学
【英文标准名称】:Identificationcards-Integratedcircuitcardprogramminginterfaces-Genericcardinterface
【原文标准名称】:识别卡.集成电路卡程序设计接口.通用卡接口
【标准号】:BSISO/IEC24727-2-2008
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2008-12-31
【实施或试行日期】:2008-12-31
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:代码表示;数据处理;数据保护;数据安全;数据传送;定义;IC卡;识别卡;信息交换;信息技术;集成电路;接口;印制电路插件;程序设计;性能;安全;规范(验收);规范;系统建筑学
【英文主题词】:Codedrepresentation;Dataprocessing;Dataprotection;Datasecurity;Datatransfer;Definition;Definitions;ICcards;Identitycards;Informationinterchange;Informationtechnology;Integratedcircuits;Interfaces;Printed-circuitcards;Programming;Properties;Safety;Specification(approval);Specifications;Systemarchitecture
【摘要】:
【中国标准分类号】:L64
【国际标准分类号】:35_240_15
【页数】:46P;A4
【正文语种】:英语
基本信息
| 标准名称： | 防护服 一般要求 |
| 英文名称： | Protective clothing—General requirements |
| 中标分类： |
医药、卫生、劳动保护 >>
劳动安全技术 >>
劳动防护用品 |
| ICS分类： |
环保、保健与安全 >>
防护设备 >>
防护服装
|
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2006-01-12 |
| 实施日期： | 2006-09-01 |
| 首发日期： | 2006-01-12 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 主管部门： | 国家安全生产监督管理局 |
| 提出单位： | 国家安全生产监督管理总局 |
| 归口单位： | 全国个体防护装备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 国家安全生产监督管理局安全科学技术研究中心、上海锦泽诚工业防护用品有限公司 |
| 起草人： | 邢娟娟、胡福静、陈胜、张矢超 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2006-09-01 |
| 页数： | 平装16 开， 页数：12， 字数：18 |
| 计划单号： | 20020534-T-450 |
适用范围
本标准规定了防护服的人类工效学、老化、尺寸、标识方面的一般要求和建议，并规定了生产厂商应提供的有关信息。本标准适用仪防护服的一般要求。
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准。然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB/T8629纺织品试验用家庭洗涤和干燥程序(GB/T8629-2001,egvISO6330:2000)
GB/T8630纺织品洗涤和干燥后尺寸变化的测定(GB/T8630-2002,ISO5077:1984,MOD)
GB/T8685纺织品和服装使用说明的图形符号(GB/T8685-1988,neqISO3758)
GB/T13640-1992劳动防护服号型
ISO105(所有部分)纺织品色牢度试验
注:我国采用ISO105系列标准的标准目录见附录A,
ISO3175:1995纺织品机械干洗模定性的评价
所属分类： 医药 卫生 劳动保护 劳动安全技术 劳动防护用品 环保 保健与安全 防护设备 防护服装
